美國API臭氧發(fā)生器控制器SCI-552參數(shù)
- 適合應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)流程 -
CI-552 是臭氧輸送系統(tǒng)的系統(tǒng)控制器，為許多典型系統(tǒng)組件提供電子控制接口，包括：臭氧發(fā)生器、EV 閥、質(zhì)量流量控制器、背壓控制器、Teledyne API 452 臭氧傳感器、Teledyne API 470 溶解臭氧傳感器和冷水機(jī)組。
SCI-552 具有硬件和軟件支持多種系統(tǒng)聯(lián)鎖功能。SCI-552 為很終用戶提供了靈活性，允許通過前面板用戶界面、MODBUS 串行接口或各種離散的數(shù)字和模擬 I/O 點(diǎn)控制系統(tǒng)。SCI-552 設(shè)計(jì)用于支持兩個(gè)臭氧發(fā)生器，提供兩個(gè)獨(dú)立的臭氧輸出通道。
特點(diǎn)
RS-232 MODBUS 遠(yuǎn)程支持
控制多達(dá) 2 個(gè)臭氧發(fā)生器
很多可連接 2 個(gè) 452 型和 470 型臭氧傳感器
控制多達(dá) 4 個(gè)質(zhì)量流量控制器
控制多達(dá) 2 個(gè)背壓控制器
控制多達(dá) 2 個(gè) EV 閥
控制冷水機(jī)組
系統(tǒng)聯(lián)鎖輸入
遠(yuǎn)程系統(tǒng)級(jí)控制和狀態(tài) I/O
參數(shù)
顯示 ：2 行 x 40 字母、數(shù)字,真空熒光
分辨率 ：0.01% w/w
周期 ：不間斷測(cè)量,每2秒或0.5 Hz刷新
數(shù)字I/O ：RS-232 C, 雙向
裝置I/O發(fā)生器支持 ：能夠支持兩臺(tái)臭氧發(fā)生器，工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 引出線
質(zhì)量流量計(jì)控制： 4 - DB-9 連接體，支持四臺(tái)質(zhì)量流量 計(jì)
背壓控制器 ：2 - DB-15 連接體，支持兩臺(tái)電子背
壓調(diào)節(jié)器
臭氧發(fā)生器 ：2 - 10 針I(yè)DC，支持兩臺(tái)臭 氧發(fā)生器
EV閥 2： - 2 針連接體 - 24 VDC
冷卻器 ：1 - DB-15 冷卻器連接體
客戶系統(tǒng)I/O聯(lián)鎖：
1- 系統(tǒng)硬件聯(lián)鎖
1 - 通訊聯(lián)鎖 (可用戶配置)
1 - 軟件聯(lián)鎖 (背壓)
串行數(shù)字： RE-232, DB-25 (Modbus標(biāo)準(zhǔn) -可選其他選項(xiàng))
AC電源： 90到240VAC, 50/60 Hz
典型功率： 低于225 W
尺寸 ：(寬 x 高 x 長) 19” x 7” x 9”(48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)
重量： 4.94 千克
環(huán)境 ：為室內(nèi)應(yīng)用而設(shè)計(jì)
運(yùn)行溫度 ：5 - 35?C
相對(duì)濕度： 80%, 無冷凝
保修 ：1 年
認(rèn)證： CE
