ALD用高濃度臭氧發(fā)生器Atlas H30功能介紹

 在半導(dǎo)體領(lǐng)域用臭氧發(fā)生器屈指可數(shù)，如果MKS SEMOZON? AX8415、SEMOZON? AX8407、SEMOZON? AX8410 ，住友臭氧發(fā)生器貨期太長，不能滿足現(xiàn)在要求，那同林推薦Atlas H30，雖然不能完全替代前面幾個型號，但可以作為替代產(chǎn)品來使用。下面是功能介紹視頻。

可用在半導(dǎo)體、ALD行業(yè)。